local scrubber半導體
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LOCAL SCRUBBER DRE
https://www.sgs.com.tw
光電、半導體廠內使用大量及多種特殊、危害性氣體做為製程氣體，其氣體經過製程反應後俗稱為尾氣。工廠所排放的尾氣通常會先選擇適當的Local Scrubber 進行預先處理， ...
第三章製程尾氣處理研究實驗設備
https://ir.nctu.edu.tw
本文研究對象為電熱水洗式Local Scrubber，利用高溫750℃加熱裂解. CVD、Dyr Etch 製程所產生的氣體，再以水洗方式吸收受高溫裂解的廢氣，經. 水霧吸收、洗滌及降低溫度後以 ...
Local Scrubber 濕式洗滌設備
https://www.htcvacuum.com
Htc日揚真空提供微氣泡水洗式廢氣處理設備(μ-Bubble Wet Scrubber) 銷售與保養服務，以高標準、高品質的產品與標準維修保養程序管理，為先進半導體製程等高科技產業 ...
穩懋半導體製程機台Local Scrubber 改採電漿式計畫書
https://ghgregistry.moenv.gov.
本專案以電漿式尾氣處理器更換取代電熱式尾氣處理器，將可有效降低化學氣相沉. 積製程之氟化氣體排放量。參採行政院環境保護署規範，本專案適用之減量方法為：. 「TM-002 ...
竹科半導體廠廠務端local scrubber的疑問???
https://www.mobile01.com
local scrubber 種類有吸附式.電熱式.水塔式.還有燃燒式.其實都會對應樓上主機台來找出最適合的. 原理其實都不難. 實際保養要注意與樓上機台的溝通及by ...
專為高科技產業所提供的廢氣處理系統
https://www.das-ee.com
DAS達思系統的水洗式Scrubber主要應用於半導體產業，其為使用端(Point-of-Use, POU)的水洗廢氣處理系統。特點是在緊連接在真空幫浦之後，可預防客戶廠房廢氣系統受物質汙染 ...
工學院產業安全與防災學程
https://ir.nctu.edu.tw
然環保意識抬頭，半導體製程所衍生的廢氣廢液等問. 題，在全球暖化的今天，引起了高度重視。製程尾氣處理設備(Local. Scrubber)，已是當今處理製程廢氣的 ...
晶圆厂制程尾气处理设备Local Scrubber设置目的和作用
http://www.szwofei.com
半导体晶圆厂在晶圆制造制程中使用到的化学物质种类繁多，所用到的原物料或副产物含有多种有害性气体，在制程后出现残留成为废气，尾气处理设备(Local ...
半導體區域洗滌塔水回收系統規劃設計與工程發包之研究
https://ir.nctu.edu.tw
... 半導體廠設置製程尾氣處理系統。早期6吋、8吋晶圓廠因製程較小相對用水量不多Local Scrubber排水直接排入廢水廠氟系廢水處理既可。但近年來科技日益發達，12吋晶圓廠 ...
半導體廠局部尾氣處理設備危害與風險評估
https://ndltd.ncl.edu.tw
半導體廠局部尾氣處理設備危害與風險評估. 論文名稱(外文):, Hazard Analysis and Risk Assessment of Local Scrubber of the Semiconductor Industry. 指導教授: 于樹偉.